Определение примесей в тантале методом масс-спектрометрии высокого разрешения с тлеющим разрядом

Проведено определение примесей 36 элементов в тантале методом масс-спектрометрии высокого разрешения с тлеющим разрядом (МСТР). Описана подготовка пробы к анализу. Для достижения максимальных аналитических сигналов от всех искомых элементов выбраны соответствующие параметры настройки оборудования. Спектральные интерференции устранены с помощью применения высокого разрешения. Рассчитаны коэффициенты относительной чувствительности для всех определяемых элементов с использованием метода рентгенофлуоресцентной спектроскопии.